burkert宝德热式气体质量流量计20001692相关特点介绍

burkert宝德热式气体质量流量计20001692相关特点介绍

8742型热式气体质量流量计*2600Nml/min,空气,316L基座,G1/4寸,标定压力2bar,PROFIBUS DP

仪表|空气| 2600nml /min | 24 V DC |内螺纹- G1/4" | PROFIBUS

核心特点

高精度与稳定性

热式测量技术：采用毛细管加热与温度传感器闭环设计，精度达±1% FS。

数字信号处理：通过算法补偿温度、压力变化，确保长期稳定性（年漂移<0.5% FS）。

快速响应时间

压电阀设计：无磁滞、响应速度<10ms，适合脉冲工艺（如激光切割、喷涂）。

直通式流道：大流量型号压降<0.2bar，效率提升30%。

多气体兼容性

软件校准：预存50+种气体热导率数据，一键切换气体类型（如N₂、Ar、H₂）。

耐腐蚀模块：可选陶瓷传感器，耐受Cl₂、NH₃等腐蚀性气体。

模块化与集成化

数字通信：支持Modbus RTU、PROFIBUS DP、EtherNet/IP，方便物联网集成。

扩展功能：可集成压力传感器、温度传感器，实现多参数监控。

宽温与高压适应性

宽温型：支持-20-80℃环境温度（适合户外或冻干机）。

高压型：耐受50 bar压力（适用于超临界流体工艺）。

应用领域

半导体制造

工艺气体控制：CVD、ALD中的SiH₄、NH₃流量控制，确保薄膜均匀性。

真空镀膜：Ar气流量控制，支持高真空环境（<10⁻³ mbar）。

化工与实验室

反应釜控制：精确控制H₂、O₂等反应气体流量，提升反应效率。

气相色谱仪：He、N₂载气控制，支持ppm级精度。

生物医药

发酵罐控制：O₂、CO₂配比控制，优化菌体代谢。

冻干机：N₂流量控制，确保产品均一性。

新能源

燃料电池：H₂、Air流量控制，提升发电效率。

光伏制造：NH₃、SiH₄沉积工艺控制，支持大尺寸晶圆生产。

环保与科研

大气监测：校准仪中的标准气体流量控制，确保监测精度。

风洞实验：模拟不同气体流速，支持航空航天研究。

特点

多参数测量能力

直接测量质量流量：无需补偿温度、压力变化，简化系统复杂度。

集成监测功能：部分型号可集成温度、压力传感器，提供全面流体数据（如焓值计算）。

宽量程与多气体兼容

大流量范围：覆盖低流量（0-1 SCCM）到高流量（0-1000 SLM）。

软件校准：支持一键切换气体类型（如N₂、Ar、H₂），提高设备灵活性。

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