burkert宝德8741型热式气体质量流量控制器20000234深度解析

burkert宝德8741型热式气体质量流量控制器20000234深度解析

8741型热式气体质量流量控制器*50nl/min95%Ar+5%H2,标定压力4bar,铝基座,G1/4寸,PROFINET

控制器| 95% Ar + 5% H2 | 5000nl /min | 24v DC |内螺纹- G1/4" | PROFINET

热式气体质量流量控制器是一种基于热传导原理，通过测量气体流动时带走热量的变化来精确控制气体流量的设备。其核心优势在于不受温度、压力变化影响，可直接测量质量流量，广泛应用于半导体、新能源、环保、科研、医疗及航空航天等领域。以下是其技术原理、行业应用及选型要点的详细解析：

技术原理与核心优势

工作原理

热式传感器：内置加热元件和测温元件，当气体流动时，加热元件的热量被气体带走，测温元件检测温度变化（ΔT）。

流量计算：通过ΔT与气体质量流量的线性关系，结合PID控制算法，实时调节阀门开度，实现流量闭环控制。

技术优势

高精度：误差通常≤±1% F.S.，重复性达±0.2% F.S.。

宽量程比：支持1:50至1:100的流量范围。

快速响应：响应时间＜300 ms，适用于动态调节场景。

环境适应性强：不受温度、压力波动影响，适合复杂工况。

行业应用与典型案例

半导体制造

应用场景：晶圆清洗、气相沉积（CVD）、刻蚀工艺中的气体输送控制。

案例：在CVD工艺中，TMFC精确控制硅烷（SiH₄）流量，确保薄膜均匀性，良率提升15%。

新能源

氢能系统：燃料电池中氢气流量控制，确保反应效率与安全。

光伏设备：监测冷却气体流量，优化电池生产效率。

科研实验

实验室应用：催化剂评价、气相色谱载气控制、细胞培养气体配比。

案例：在合成新化合物实验中，TMFC稳定控制反应气体流量，数据可靠性提升90%。

选型关键参数

流量范围：根据工艺需求选择量程。

精度与重复性：科研/半导体领域优先选±0.5% F.S.精度。

响应时间：动态调节场景需＜100 ms。

材料兼容性：腐蚀性气体需选耐腐材质。

通信接口：工业场景推荐CANopen/PROFIBUS DP，实验室可选模拟信号。

认证标准：医疗设备需FDA认证，航空航天需FAA/CAAC认证。

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