burkert宝德热式气体质量流量控制器20001217特点介绍

burkert宝德热式气体质量流量控制器20001217特点介绍

8741型热式气体质量流量控制器*150nl/min,空气,标定压力2bar,铝基座,G1/4寸,4-20mA

控制器|空气| 15000nl /min | 24 V DC |内螺纹- G1/4" | 4-20 mA

流量控制器是一种用于调节和稳定流体流量的设备，广泛应用于化工、石油、能源、环保、科研等领域。其核心特点如下：

核心特点

高精度与稳定性

精度等级高：热式质量流量控制器精度可达±0.8% F.S.，重复性±0.1% F.S.，确保流量控制的稳定性。

抗干扰能力强：不受温度、压力波动影响，直接测量质量流量，适用于复杂工况。

快速响应与动态调节

响应时间快：热式控制器响应时间＜300 ms，适应动态调节场景（如半导体工艺中的实时控制）。

动态补偿功能：通过PID算法实时调整阀门开度，维持流量设定值。

宽量程比与灵活性

量程覆盖广：支持从0.01 L/min到160 L/min的流量范围，适应不同工艺需求。

多气体校准：可针对多种气体（如N₂、H₂、O₂）进行校准，提高设备利用率。

智能化与集成化

数字通信接口：支持CANopen、PROFIBUS DP等协议，便于集成至工业网络。

远程监控：通过上位机软件实现流量监控、参数设置和故障诊断。

环境适应性与可靠性

恶劣环境耐受：防护等级IP65，支持-10°C至+70°C工作环境。

长寿命设计：采用耐腐蚀材料（如316L不锈钢），减少维护成本。

技术优势

直接质量流量测量

区别于体积流量计，直接测量气体质量流量，避免温压补偿误差。

闭环控制算法

集成PID控制器，根据流量偏差实时调整控制信号，确保控制精度。

模块化设计

可选配不同阀门、传感器和通信模块，灵活适配应用场景。

应用场景

半导体制造

控制晶圆加工中的气体流量（如CVD工艺中的硅烷），确保薄膜均匀性。

新能源

燃料电池中氢气流量控制，优化能源转换效率。

环保工程

垃圾焚烧厂烟气流量监测，确保环保达标。

科研实验

实验室气相色谱仪载气流量控制，提升分析精度。

医疗设备

麻醉机中氧气/笑气混合比控制，保障手术安全。

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