burkert宝德热式气体质量流量控制器20001609结构特点

burkert宝德热式气体质量流量控制器20001609结构特点

8742型热式气体质量流量控制器*160nl/min,O₂,铝基座,G1/4寸,标定压力3bar,4-20mA

控制器| O2 | 16000nl /min | 24v DC |内螺纹- G1/4" | 4- 20ma

传感器设计：毛细管绕丝+双元件补偿

毛细管绕丝技术

多圈绕丝：加热丝和温度传感器以螺旋状缠绕在毛细管上，热接触面积增大30%，提升测量灵敏度。

热隔离设计：传感器与阀体通过陶瓷绝缘层隔离，避免热传导干扰。

双传感器补偿

对称布局：两个热敏元件分别位于毛细管两侧，实时检测环境温度波动。

动态补偿算法：通过微处理器计算温差，消除环境热辐射误差（精度提升0.5%）

流量控制阀：压电阀与电磁阀结合

压电阀技术（适用于小流量）

无机械运动：压电陶瓷片直接驱动阀芯，响应时间<8ms（比传统电磁阀快5倍）。

零泄漏设计：阀座采用激光焊接工艺，确保气密性（泄漏率<1×10⁻⁹ mbar·L/s）。

电磁阀优化（适用于大流量）

直动式结构：无需先导阀，压力损失降低30%，适用于高压气体（如10bar N₂）。

耐腐蚀材料：阀芯采用陶瓷涂层，耐受腐蚀性气体（如Cl₂、NH₃）。

电子控制单元：模块化与智能化

数字信号处理

24位ADC：采样率1kHz，实时捕捉流量波动。

自适应算法：根据气体类型（如He、Ar）自动调整温度补偿系数。

通信与诊断

多协议支持：集成Modbus RTU、PROFIBUS DP、EtherNet/IP，便于工业物联网集成。

自诊断功能：

传感器污染检测：通过噪声分析预测维护周期。

阀门健康监测：记录开关次数，预测寿命（精度±10%）。

材料选择与工艺

耐腐蚀设计

阀体材质：316L不锈钢（标准款）或PEEK塑料（超纯应用）。

密封技术：FFKM全氟橡胶密封圈，耐受200℃蒸汽灭菌和强酸（如H₂SO₄）。

焊接工艺

激光焊接：传感器与阀体无缝连接，避免介质泄漏。

电化学抛光：表面粗糙度Ra<0.4μm，符合EHEDG卫生标准（可选）。

典型应用场景与选型建议

半导体制造

工艺气体控制：如ALD（原子层沉积）中的前驱体气体（如NH₃）流量控制，需选耐腐蚀传感器+压电阀组合。

真空系统：氩气（Ar）在离子注入工艺中的流量控制，需宽量程电磁阀（0-500 SCCM）。

生物医药

发酵罐通气：氧气（O₂）和二氧化碳（CO₂）的配比控制，需双通道控制器+卫生型接头（符合ASME BPE）。

实验室分析

气相色谱仪（GC）：载气（如He）的恒流控制，需高精度压电阀（精度±0.5% FS）。

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