burkert宝德质量流量控制器20001620技术参数

burkert宝德质量流量控制器20001620技术参数

8741型热式气体质量流量控制器*3nm3/h,H2,标定压力5bar,铝基座,G1/4寸,4-20mA

控制器| H2 | 3000 nm3 /h | 24v DC |内螺纹- G1/4" | 4-20 mA

介质 和 校准

安装位置

水平

工作面积中等1

3

单位介质1

Nm3 /小时

工作介质1

H2

校正介质1

真实气体

校准Qnom压力介质1

5

压力规格单位

bar (ü)

密封材料

阀座密封材料

FKM（氟橡胶）

对外部材料的密封

FKM（氟橡胶）

输入/输出

输入类型数字量

1四氯乙烯

输出类型数字量

1

测量

测量或控制范围

1:50

过程连接 型号/口径

端口连接1 DN

1/4 "

端口连接类型

内螺纹

端口连接1标准

G

应用领域

半导体制造

工艺气体控制

应用场景：CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、刻蚀工艺中的气体控制（如SiH₄、NH₃、Cl₂）。

技术需求：

高精度：±1% FS（确保薄膜均匀性）。

快速响应：<10ms（适应脉冲工艺）。

耐腐蚀：传感器需耐受腐蚀性气体。

真空系统

应用场景：离子注入机、真空镀膜机中的氩气（Ar）流量控制。

技术需求：

大流量范围：0-500 SLM。

低压降设计：减少真空泵负载。

化工与实验室

反应釜进气控制

应用场景：精细化工中的气体反应（如H₂、O₂参与的反应）。

技术需求：

高稳定性：长时间漂移<0.5% FS。

耐腐蚀材料：316L不锈钢或PEEK阀体。

气相色谱仪（GC）

应用场景：载气（He、N₂）的恒流控制。

技术需求：

低压降：<0.1bar（避免影响色谱柱分离）。

数字通信：支持Modbus或RS-485集成。

生物医药

发酵罐通气控制

应用场景：O₂和CO₂的配比控制（影响菌体代谢）。

技术需求：

卫生级设计：易清洗。

耐腐蚀：耐受高温蒸汽灭菌（121℃）。

冻干机控制

应用场景：N₂在冷冻干燥中的流量控制。

技术需求：

宽温型：-20-80℃（适应冻干循环）。

高精度：±0.5% FS（确保产品均一性）。

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